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?由于水分等杂质是极性分子，吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料较易吸附水分等杂质，铜材对水吸附性较强，使用这些材料输送高纯气体易被污染，除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外，高纯气体都不采用铜管和塑料管，气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。

为了确保输送的气体纯净度，要求管道材料内表面有一个较高的光洁度，这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留，可以在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨，可以在气流高速冲刷下，产生的金属粒子就少，不锈钢比铜管产生粒子要少，所以不锈钢管耐磨性优于钢管。微电子生产中，经常使用一些腐蚀性很强的气体，这时必须采用耐腐蚀的管材，否则管道会被腐蚀，轻则表面产生锈斑，重则管道大面积剥落、穿孔，不但污染气体，还会发生安全事故。

?实验室气路系统包括实验室集中供气系统和室内气瓶供气系统，可以满足不同等级要求的气体安全使用。中’央供气管路系统工程主要是为试/实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体，保证其储存和使用的安全性。**分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。气路安装工程设计的初期一定要搞清楚以上各方面的要求，然后进入前期的设计步骤，气瓶间设计的时候要考虑气体的种类。

中心实验室的所有管道应统筹规划、集中布置，以便于安装、操作和检修为布置原则；引入中心实验室的所有工艺管道总管应设切断阀，并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢’气管道外的其它气体管道之上。

?在管道工程系统中，阀门是控制元件，在管道工程中其作用至关重要。流道为直通式的阀门，其流阻较小，通常选择作为截止和开放介质用的阀门。向下闭合式阀门(截止阀、柱塞阀)由于其流道曲折，流阻比其他阀门高，故较少选用。在允许有较高流阻的场合，可选用闭合式阀门。通常选择易于调节流量的阀门作为控制流量用。向下闭合式阀门(如截止阀)适于这一用途，因为它的阀座尺寸与关闭件的行程之间成正比关系。根据换向分流的需要，这种阀门可有三个或更多的通道。旋塞阀和球阀较适用于这一目的，因此，大部分用于换向分流的阀门都选取这类阀门中的一种。

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